| 8486205000 |
制造半导体器件或集成电路用离子注入机 |
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其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 |
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制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 |
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| 8486302100 |
制造平板显示器用化学气相沉积装置 |
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| 8486302200 |
制造平板显示器用物理气相沉积装置 |
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| 8486302900 |
其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 |
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制造平板显示器用分步重复光刻机 |
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| 8486303900 |
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 |
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| 8486304100 |
制造平板显示器用超声波清洗装置 |
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其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 |
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| 8486309000 |
其他制造平板显示器用的机器及装置 |
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主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置 |
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塑封机 |
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引线键合装置 |
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其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备 |
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| 8486403100 |
IC工厂专用的自动搬运机器人 |
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其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备 |
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| 8486901000 |
升降、搬运、装卸机器用零件或附件 |
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引线键合装置用零件或附件 |
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带背板的溅射靶材组件 |
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